经过喷淋洗涤、水解和中和反应后，重庆冷却塔维修尾气中的有害物质被去除，处理后的尾气中主要含有氮气和氢气，经安全液封罐25米高空达标排放。 尾气洗涤塔釜的洗涤液中含有CaSiO3、CaCl2、SiO2等悬浮物，从废液接受地槽中排入地沟，由地沟排入循环碱液池，一部分经碱液由循环泵送至洗涤塔循环，一部分送往废水站的含盐及含硅废水处理系统进行处理。

各工序产生的待处理的尾气通过管道分别进入相应的尾气洗涤塔内，重庆中央空调维修洗涤塔的下部置于废液接受地槽中，用循环液形成液封。Ca(OH)2溶液由塔顶喷入，对尾气进行喷淋洗涤，废气中的氯硅烷（主要为SiHCl3、SiCl4、SiH2Cl2，另外还有少量SinCl2n+n及SinHmCl(2n+2)-m系的氯硅烷衍生物）被水解中和，其反应如下：

SiHCl3的水解中和反应过程：
SiHCl3+3H2O=H2SiO3+3HCl+H2
H2SiO3+Ca(OH)2=CaSiO3+2H2O
2HCl+Ca(OH)2=CaCl2+2H2O
总反应：2SiHCl3+5Ca(OH)2=2CaSiO3+3CaCl2+4H2O+2H2
 SiCl4的水解中和反应过程：
 SiCl4+4H2O=H4SiO4+4HCl
H4SiO4+Ca(OH)2=CaSiO3+3H2O    
  2HCl+Ca(OH)2=CaCl2+2H2O
总反应：SiCl4+3Ca(OH)2=CaSiO3+2CaCl2+3H2O
 SiH2Cl2的水解中和反应过程：     
 SiH2Cl2+4H2O=H4SiO4+2HCl+2H2
H4SiO4+Ca(OH)2=CaSiO3+3H2O     
 2HCl+Ca(OH)2=2CaCl2+2H2O
总反应：SiH2Cl2+2Ca(OH)2=CaSiO3+CaCl2+2H2+H2O

SinCl2n+2的水解中和反应过程： 
Si2Cl6+5Ca(OH)2=2CaSiO3+3CaCl2+H2+4H2O
SinHmCl(2n+2)-m的水解中和反应过程：
       2Si2HCl5+9Ca(OH)2=4CaSiO3+5CaCl2+4H2+6H2O
最后H4SiO4也发生反应：
 H4SiO4=SiO2+2H2O